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激光清洗是一种新的清洗方法,它利用激光的方向性和高亮度,通过光剥离、光分解等原理清除材料表面的污染物,具有简单方便无二次污染等独特优点。它可以用于液体、固体和气体,适用范围广,尤其在除锈、除漆、除泥污、微电子汗液晶片表面处理等显出优越性。
国外各种激光清洗机已经相继问世,并且已经用于很多领域。激光清洗已经从单一的清除硅片掩模表面微粒发展到各个应用领域;可以清除的污物大到油漆等片状物小到纳米量级的微小颗粒;可以清洗污物的种类也是十分广泛,从无机物到有机物,从透明物到不透明物质,甚至用于放射性污染的清除。
在国内,由于对环境保护和对激光技术的认识不足,以及对一次性投入较高的担忧,激光清洗的工业应用还较少。可以预见,随着激光技术的发展,激光成本的下降,激光清洗技术应用会更加广泛。