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化学清洗前只有弄清楚垢的形成原因、条件和性质，才能正确选择清洗剂及工艺条件，清除积垢，同时也有助于防止或减轻结垢。工业设备中最常见的积垢类型有水垢、腐蚀积垢、生物黏泥、有机质垢及其他积垢。垢的形成大都起因于沉淀、结晶、化学反应、腐蚀和微生物的生成等因素，结垢过程复杂。
1．固体颗粒的沉淀
流体系统中所夹带的固体颗粒如砂粒、灰尘、炭黑，在设备表面沉积而形成垢。这种垢在冷却水系统中的换热器表面最容易出现。这种垢较为疏松，易于除去。例如翅片式换热器、开放式冷却系统、冷却塔，工业粉尘、炭粒容易沉积结垢。
2．由结晶造成的结垢
由结晶引起的结垢是经常遇到的。例如在蒸发时盐浓度不断提高，直至溶液饱和或过饱和，晶粒析出沉积于换热器表面，结垢主要取决于物质的溶解度。如果溶液中主要是单盐，则垢层较厚，结垢致密，与壁面的结合较牢固，若是复盐，则垢层薄，易清洗，易脱落。在冷却水循环系统中析出的CaCOs和CaS04就属于此类，常称为水垢。
水垢是工业设备中最常见的积垢，因锅炉、换热器等系统大都是以水为介质容易形成水垢。
3．由化学反应生成的垢物流与加热表面接触时，由于自氧化和聚合反应而生成污垢，牢固附着设备表面。设备表面金属腐蚀有助于氧化，当温度高时还会导致结焦，这种垢层硬而韧，不易清除。